5轴水平多关节型洁净机...
所属行业：工业机器人技术领域：机械制造发布类型：已产业化技术成果发布者：刘...状态：已发布
发布日期：2025-11-15
5轴水平多关节型洁净机械手臂
GTFR5280(对应300mm晶圆的)
用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂。 单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。 适用于300mm半导体生产设备内部，适用于EFEM的晶片搬运。
特点
与我司以往产品的GTCR相比，减少动作禁止区域、速度限制的影响，提高传片效率。
（比本公司以往产品提高60%）
机械手臂标准臂长: 240mm, 280mm
机械手臂可以单独对应3个FOUP（280mm臂长）
双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
可以选择单臂规格
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式, Ethernet
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机, 无需电池
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指
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