领域:新材料关键词:重大贡献
性别:男专家所属:企业
专家类型:技术(产业)创新
是否已产业:已产业
戴煜先生,博士,民革党员,材料学博士学位,1992年参加工作。长沙市政协委员。近年来致力于研究第三代半导体用“四高两涂”碳基材料的技术。他在带领企业发展技术的过程中,自主研制的超高温纯化设备,采用独特的复合高温热化学提纯工艺,突破了高纯碳粉微量杂质去除技术,产品纯度可达6N以上;自主研制的化学气相沉积装备,突破了TaC涂层制备关键技术,其产品性能达到国际先进水平,实现了第三代半导体用关键材料与装备的自主可控与产业化。
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(注:数据来源于公开描述)
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