半导体用超纯水系统工程——关键工艺改善

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半导体用超纯水系统工程——关键工艺改善

我国半导体市场接近全求总量的三分之一，全球半导体生产形成暴发性增长趋势，在半导体产品制造过程中，由于生产设备的精密性和生产工艺的复杂性，对其配套设施提出了很高的要求，尤其对作为半导体行业血脉的超纯水系统更是尤为严苛。为了不再受到国外供应商的卡脖子，因此提高超纯水的颗粒物过滤效果是需要攻克的技术难关，将超纯水设备更多应用于国内半导体制造领域。此次获奖充分证明了我国水处理在科技创新方面的实力和成效。我国水处理将继续加强自身的科技创新能力，不断开拓进取，全面提升企业自主创新能力和核心竞争力，推动公司创新战略的实施。