摘 要

本发明一种磁控线圈用粉末的掺杂方法，提供一种磁控线圈用粉末的掺杂方法，属于粉末冶金制造领域。本发明的工艺包括掺杂、搅拌、蒸汽烘干等步骤。其特点是在硝酸钍溶液中加入中和添加剂氨水NH3·H2O溶液，将配置好的混合溶液均匀喷洒到放置在掺杂锅内的蓝钨WO2.9表面并进行搅拌。对掺杂锅抽真空并采用水加热，边加热边搅拌。在真空状态下，采用蒸汽加热的方法烘干粉体，最终得到掺杂均匀、杂质含量少的掺杂钍钨粉。

背景技术

[0002] 磁控管阴极组件中的核心部件磁控线圈要求钨基体中均匀分布ThO2颗粒，目前磁控管阴极用磁控线圈原料粉末的制备工艺是采用仲钨酸铵APT培烧成黄钨WO3作为原材料，通过掺杂、高温培烧、一次还原为掺杂WO2、二次还原为掺杂W粉。但这种方法工序较长，制造成本较高。

[0003] 此外，目前通用的钍钨固-固掺杂方法是把氧化钍颗粒直接加入到钨粉中，然后通过机械研磨混料制取掺杂钍钨粉，此方法因氧化钍加入量少且采用机械混料使硝酸钍颗粒难于在钨粉中分布均匀。另一种通用的方法为固-液掺杂法，即把硝酸钍溶液直接加入到钨粉中，但固-液掺杂一方面容易因加热烘干不当产生粉体结块而引起硝酸钍掺杂不均，另一方面由于硝酸钍是强酸弱碱，在后续还原过程中，容易腐蚀舟皿和还原炉，并引入有害杂质铁Fe。