气相法工艺是制备高纯超细粉体材料的主要技术方法之一。气相二氧化硅是通过氯硅烷在氢气和氧气火焰中进行高温水解缩合所合成，在气相二氧化硅粒子形成的过程中，在二氧化硅表面残留有大量的硅羟基(Si-OH)，硅羟基的存在，一方面可赋予气相二氧化硅较高的表面活性，带来一系列的特殊性能如补强、增稠和触变等性能；但同时也带来一些不利影响，比如导致气相二氧化硅容易团聚，分散困难、易吸潮等，对气相二氧化硅的后续应用影响非常大。因此通常需要对气相二氧化硅进行表面改性。

通常表面改性是选用一些有机化合物与气相二氧化硅的表面硅羟基进行反应，从而把有机基团以化学键接到气相二氧化硅表面，可降低粉体的吸潮性、提高它在有机体系中的分散性等。这个过程中往往会生成环境不友好、性质差异较大的副产物，处理不当将带来安全、环境质量风险。基于此，技术研发提供一种亲水型气相二氧化硅的表面改性联合处理方法，其显著提高了未反应改性剂和副产物的利用率，降低了副产物处理成本，提高了反应效率和产品质量。