5轴水平多关节型洁净机械手臂
领域:电气自动化行业:人工智能
发布者:刘...
5轴水平多关节型洁净机械手臂GTFR5280(对应300mm晶圆的)用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂。 单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。 适用于300mm半导体生产设备内部,适用于EFEM的晶片搬运。特点与我司以往产品的GTCR相比,减少动作禁止区域、速度限制的影响,提高传片效率。(比本公司以往产品提高60%)机械手臂标准臂长: 240mm, 280mm机械手臂可以单独对应3个FOUP(280mm臂长)双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间可以选择单臂规格控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式, Ethernet全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机, 无需电池晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指