摘 要
本申请提供了一种半导体封装一体机,包括机架;第一上料机构,用于供应第一支架;点胶机构,用于对第一支架进行点胶;供晶机构,用于供应芯片;固晶机构,用于将芯片固设于第一支架上;第二上料机构,用于供应第二支架;合片机构,用于将第二支架与第一支架贴合形成合片体;回流焊机构,用于对合片体进行回流焊处理。本申请通过点胶机构、供晶机构和固晶机构可将芯片固设于第一支架上,合片机构可将第二支架与第一支架贴合形成合片体,回流焊机构可对合片体进行回流焊处理。因此,该半导体封装一体机可实现第二支架与第一支架的自动贴合,以及对合片体的自动回流焊处理,具有集成度高、自动化程度高、效率高等优点。背景技术
半导体封装是将焊点固化的支架经过回流焊接后,通过测试的晶片按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。随着半导体封装技术的成熟,对半导体封装设备的集成度、可靠性有了更高的要求。
在半导体封装过程中,需要对第一支架进行点胶,将芯片固定于第一支架上,然后将第二支架和第一支架贴合,最后将贴合后的支架运输至回流焊设备中进行回流焊处理,从而实现对半导体的封装。然而,目前的半导体封装设备通常由人工分步将第二支架与第一支架贴合,以及人工将贴合后的支架搬运至回流焊设备中,这就导致半导体封装设备的集成度较差,自动化程度低,效率低。